名词解释
通过引入磁场，利用磁场对带电粒子的束缚作用来提高溅射效率和沉积速率的溅射方法称为磁控溅射。
气体分子的通量
名词解释气体分子的通量
薄膜的外延生长
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等离子体的鞘层电位
名词解释等离子体的鞘层电位
