问答题
按比例缩小：芯片上的器件尺寸相应缩小是按比例进行的 重要性：为了优电学性能，多有尺寸必须同时减小或按比例缩小。
什么是芯片的关键尺寸，这种尺寸为何重要？
问答题什么是芯片的关键尺寸，这种尺寸为何重要？
列出提高微芯片制造技术相关的三个重要趋势，简要描述每个趋势。
问答题列出提高微芯片制造技术相关的三个重要趋势，简要描述每个趋势。
什么是硅片，什么是衬底，什么是芯片？
问答题什么是硅片，什么是衬底，什么是芯片？
