问答题
① 导线line（AA， poly & metal）的尺寸大小。（CD=crit......
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什么是spacing?如何量测?
问答题什么是spacing?如何量测?
在量测Poly/metal导线的特性时, 是利用什么电性参数得知?
问答题在量测Poly/metal导线的特性时, 是利用什么电性参数得知?
影响Contact （CT） Rc的主要原因可能有哪些？
问答题影响Contact （CT） Rc的主要原因可能有哪些？
