名词解释
由于光刻胶无法承受高温过程，扩散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。当原子扩散进入硅片，它们向各个方向运动：向硅的内部，横向和重......
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恒定表面源扩散
名词解释恒定表面源扩散
有限表面源扩散
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间隙式扩散
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