名词解释
图形化工艺中将设计好的图形从光刻板或背缩光刻板转印到晶圆表面的的光刻胶上使用的技术。
什么是驻波效应？如何减小驻波效应
问答题什么是驻波效应？如何减小驻波效应
解释硬烘烤的目的。光刻胶硬烘烤过度和不足会产生什么问题？
问答题解释硬烘烤的目的。光刻胶硬烘烤过度和不足会产生什么问题？
解释曝光后烘烤的目的。PEB（曝光后烘烤）烘烤过度和不足会产生什么问题？
问答题解释曝光后烘烤的目的。PEB（曝光后烘烤）烘烤过度和不足会产生什么问题？
