多项选择题
A.检查喷水吹气位置是否正确 B.查看吸盘表面是否干净 C.工作时观察晶圆清洗后表面有无水汽残留 D.观察吸盘安装是否到位有无松动与找边SENSOR配合位置准确
离子风机点检加电状态方法为（）。A.用手接触风机外壳感觉无抖动现象B.目检电源线是否接插C.检查开关打开后是否...
多项选择题离子风机点检加电状态方法为（）。
A.用手接触风机外壳感觉无抖动现象 B.目检电源线是否接插 C.检查开关打开后是否工作 D.目检出风口是否有打火等异常
空气干燥机运行检查项目方法为（）。A.目检压力表指示值B.目检滤芯是否需更换C.目检压力表温度指示值D.听干燥...
多项选择题空气干燥机运行检查项目方法为（）。
A.目检压力表指示值 B.目检滤芯是否需更换 C.目检压力表温度指示值 D.听干燥机有无异常声音目检有无渗漏现象
真空泵运行检查项目方法为（）。A.目检真空表指示值B.检查真空泵供水排水是否正常C.听真空泵声音是否正常目检有...
多项选择题真空泵运行检查项目方法为（）。
A.目检真空表指示值 B.检查真空泵供水排水是否正常 C.听真空泵声音是否正常目检有无渗漏现象 D.排水是否堵塞
