离子注入设备主要由（）和聚焦阳极，偏束板，扫描器，靶室组成。

离子注入使用用来制作（）A.超浅结B.源漏注入C.深埋层D.阈值电压调整

多项选择题离子注入使用用来制作（）

离子注入后退火的目的是（）A.修复晶格损伤B.激活杂质C.提高硬度D.提高稳定性

多项选择题离子注入后退火的目的是（）

离子注入的有点有（）A.设备简单B.不受固溶度限制C.避免高温过程D.杂质纯度高

多项选择题离子注入的有点有（）