在机械加工中，使用各种刀具，量具及装夹刀具用的辅助工具等这些统称为工艺装备。

激光千涉仪不能用于精密机床位置精度的检测。

判断题激光千涉仪不能用于精密机床位置精度的检测。

激光千涉仪的使用范围广泛，除了解进行长度测量外，配上附件也可以进行直线度，角度，垂直度，平面度，误差的测量。

判断题激光千涉仪的使用范围广泛，除了解进行长度测量外，配上附件也可以进行直线度，角度，垂直度，平面度，误差的测量。

双频激光千涉仪与单频激光千涉仪相比，千涉能力测量速度和可测距离均相同。

判断题双频激光千涉仪与单频激光千涉仪相比，千涉能力测量速度和可测距离均相同。