按其产生原因，残余应力可分为（）应力、（）应力、热处理应力及机械加工应力。

激光干涉仪定位装置的特点是：定位精度高，可小于（），且不需刻线尺，所以（）不受限制。

填空题激光干涉仪定位装置的特点是：定位精度高，可小于（），且不需刻线尺，所以（）不受限制。

尺寸大于（）的零件，可用经纬仪测量。

填空题尺寸大于（）的零件，可用经纬仪测量。

干涉仪主要用于（）测量。

填空题干涉仪主要用于（）测量。