问答题
①气态反应剂被输送至反应腔，以平流形式向出口流动。②反应剂从主气流区以扩散方式通过边界层到达硅片表面。......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
简述化学气相淀积的概念？
问答题简述化学气相淀积的概念？
二氧化硅的应用及相应的生长方法？
问答题二氧化硅的应用及相应的生长方法？
简述SiO2的用途?
问答题简述SiO2的用途?
