问答题
冷壁CVD：器壁和原料区都不加热，仅基片被加热，沉积区一般采用感应加热或光辐射加热。缺点是有较大温差，温度均匀性问题需特......
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简述热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点。
问答题简述热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点。
简述CVD热力学分析的主要目的。
问答题简述CVD热力学分析的主要目的。
简述离子镀膜技术的分类。
问答题简述离子镀膜技术的分类。
