简答题 热氧化工艺有哪些？

氧化硅的主要作用有哪些？

问答题氧化硅的主要作用有哪些？

SiO2中杂质有哪些类型？

问答题SiO₂中杂质有哪些类型？

何谓桥键氧，非桥键氧？它们对SiO2密度有何影响？

问答题何谓桥键氧，非桥键氧？它们对SiO₂密度有何影响？