水汽氧化是平面工艺最常用的方法。

内圆切割机切片的速度快，可以同时切割多根单晶硅锭。

判断题内圆切割机切片的速度快，可以同时切割多根单晶硅锭。

利用王水清洗硅片主要在于它的腐蚀性。

判断题利用王水清洗硅片主要在于它的腐蚀性。

利用区熔单晶硅制备的太阳电池的光电转换效率高，且生产成本低，应用广泛。

判断题利用区熔单晶硅制备的太阳电池的光电转换效率高，且生产成本低，应用广泛。