沉积方式APCVD的优点有（）。

固相反应优点，不包括（）。A.反应速率慢B.高选择性C.高产率D.工艺过程简单

单项选择题固相反应优点，不包括（）。

溶胶-凝胶工艺流程， 不包括（）。A.制备溶胶B.凝胶的干燥C.溶胶凝胶转化D.对干凝结胶进行冷处理

单项选择题溶胶-凝胶工艺流程， 不包括（）。

反应釜按密封的机械结构分类，不正确的是（）。A.法兰盘式B.大螺帽式C.外螺塞式D.杠杆压机式

单项选择题反应釜按密封的机械结构分类，不正确的是（）。