名词解释
快速加热工艺。是一种升温速度非常快的，保温时间很短的热处理方式。
结深
名词解释结深
SiO2-Si界面中存在几种电荷？对器件性能有哪些影响？工艺上如何降低它们的密度？
问答题SiO2-Si界面中存在几种电荷？对器件性能有哪些影响？工艺上如何降低它们的密度？
为什么晶体晶格离子注入工艺后需要高温退火？使用RTA退火有什么优点？
问答题为什么晶体晶格离子注入工艺后需要高温退火？使用RTA退火有什么优点？
