氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）

​下列哪种工艺所制备的氧化层质量最好？（）A.水汽氧化B.干氧氧化C.湿氧氧化D.化学气相淀积

单项选择题​下列哪种工艺所制备的氧化层质量最好？（）

直拉法制备硅单晶的工艺步骤顺序是（）。A.引晶（下种）B.放肩C.收尾D.收颈E.等径生长A.ADBECB.A...

单项选择题

直拉法制备硅单晶的工艺步骤顺序是（）。
A.引晶（下种）
B.放肩
C.收尾
D.收颈
E.等径生长

硅片制备最先进的抛光工艺是（）。A.化学抛光B.机械抛光C.化学机械抛光D.CMP

多项选择题硅片制备最先进的抛光工艺是（）。