空气干燥机运行温度设定指示在25~30℃范围。

空气干燥机运行压力值在0.45±0.05Mpa范围。

判断题空气干燥机运行压力值在0.45±0.05Mpa范围。

检查磨轮寿命：磨轮齿长应>0.6mm。

判断题检查磨轮寿命：磨轮齿长应>0.6mm。

手动贴膜机切割后晶圆边缘切膜余量标准为0.5±0.5mm。

判断题手动贴膜机切割后晶圆边缘切膜余量标准为0.5±0.5mm。