填空题
高温;杂质;氧化硅
简述掺氯氧化工艺。
问答题简述掺氯氧化工艺。
在实际的SiO2–Si系统中,存在几种电荷?
问答题在实际的SiO2–Si系统中,存在几种电荷?
简述硅热氧化过程中有哪些阶段?
问答题简述硅热氧化过程中有哪些阶段?