微量切削加工中，由于材料晶粒的机械性能不同产生的（）的影响，使得材料纯度越高加工质量越好。

超精密加工对机床的基本要求是：（）、高刚度、（）、高自动化。

填空题超精密加工对机床的基本要求是：（）、高刚度、（）、高自动化。

简述超声清洗的原理。

问答题简述超声清洗的原理。

简述电化学加工的三种不同的类型。

问答题简述电化学加工的三种不同的类型。