名词解释
通过氧离子注入到硅片，与硅发生反应形成二氧化硅沉淀物，再经高温退火过程形成SiO2层，同时消除注入缺陷。
SOI技术
名词解释SOI技术
SOS技术
名词解释SOS技术
双掺杂技术
名词解释双掺杂技术
