问答题
（1）阱区注入。（2）对重度阱区注入，抑制结击穿效应。（3）调整阈值电压。（4）多晶......
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离子注入后为什么要进行热退火
问答题离子注入后为什么要进行热退火
简述离子注入的通道效应和减小通道效应的方法
问答题简述离子注入的通道效应和减小通道效应的方法
离子注入的两种阻滞机制：（）
填空题离子注入的两种阻滞机制：（）
