问答题
硅片表面污染的来源主要有以下几方面：（1）有机物沾污：包括切、磨、抛工艺中的润滑油脂；石蜡、松香等粘合剂；手......
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简述硅片表面污染的来源。
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半导体芯片制造工艺对气体有什么要求？
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半导体芯片制造工艺对水质有什么要求？
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