问答题
与蒸发粒子的余弦分布不同，溅射粒子的出射方向遵从欠余弦分布，即按cosnθ分布（n＜1），如入射粒......
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为什么溅射产额与离子的入射方向有关？
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为什么选用氩气作为放电气体？
问答题为什么选用氩气作为放电气体？
溅射产额与哪些因素有关？
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