问答题
产生背景：特种加工是将电、磁、声、光、热等物理能量及化学能量或其组合乃至于机械能组合直接施加在被加工的部位上，从而使材料......
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试简述LIGA技术的原理、特点及主要工艺。
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什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
问答题什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？
问答题叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？
