单项选择题
A.光敏抗蚀剂B.光致抗蚀剂C.光致抗腐剂D.光敏抗腐剂
微机械采用和（）类似的方法生产，可以像超大规模集成电路芯片一样一次制成大量的完全相同的部件。A.集成电路制造工...
单项选择题微机械采用和（）类似的方法生产，可以像超大规模集成电路芯片一样一次制成大量的完全相同的部件。
A.集成电路制造工艺B.半导体制造工艺C.晶圆纳米制造工艺D.切削制造工艺
超微机械加工是指用精密金属切削和电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸以下的微机械零件，是一种（）加工技术，...
单项选择题超微机械加工是指用精密金属切削和电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸以下的微机械零件，是一种（）加工技术，多为单件加工和单件装配。
A.三维B.二维C.平面D.镜面
超精密机床导轨部件要求有极高的（）精度，且其不能有爬行，导轨耦合面不能有磨损。A.平面运动B.水平运动C.位置...
单项选择题超精密机床导轨部件要求有极高的（）精度，且其不能有爬行，导轨耦合面不能有磨损。
A.平面运动B.水平运动C.位置运动D.直线运动
