（）、（）和（）材料统称为半导体微结构材料。

结晶形锗硅合金的制备方法有（）、水平法、热分解法和（）。

填空题结晶形锗硅合金的制备方法有（）、水平法、热分解法和（）。

锗硅合金有（）、（）和超晶格三种。

填空题锗硅合金有（）、（）和超晶格三种。

砷化镓膜材料主要通过外延技术制备。主要外延方法有（）外延、液相外延和（）外延

填空题砷化镓膜材料主要通过外延技术制备。主要外延方法有（）外延、液相外延和（）外延