“双特征分析法”故障诊断技术是把振动故障信号分为（）故障信号和冲击故障信号。

半闭环进给伺服系统的检测元件是（）。

填空题半闭环进给伺服系统的检测元件是（）。

数控机床一般由（）、主轴伺服系统、进给伺服系统、机床本体及其辅助装置组成

填空题数控机床一般由（）、主轴伺服系统、进给伺服系统、机床本体及其辅助装置组成

将同一激光器发出的光分成频率不同的两束光波，并使之产生干涉而进行测量的精密仪器叫（）。

填空题将同一激光器发出的光分成频率不同的两束光波，并使之产生干涉而进行测量的精密仪器叫（）。