离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。

在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

填空题在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

金属的离子注入改性目的在于提高金属的（）性能、（）强度和（）性能。

填空题金属的离子注入改性目的在于提高金属的（）性能、（）强度和（）性能。

电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。

填空题电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。