软烘又叫前烘，该工序仅可在烘箱中进行。

KOH水溶液可作为正胶显影液。

判断题KOH水溶液可作为正胶显影液。

12英寸的晶圆进行单面研磨。

判断题12英寸的晶圆进行单面研磨。

单晶硅生长结束后，用四探针技术测量单晶硅锭的电阻率。

判断题单晶硅生长结束后，用四探针技术测量单晶硅锭的电阻率。