简答题 在STI的形成步骤中有一道liner oxide（线形氧化层）， liner oxide 的特性功能为何？

在STI的刻蚀工艺过程中，要注意哪些工艺参数？

问答题在STI的刻蚀工艺过程中，要注意哪些工艺参数？

AA 是哪两个字的缩写? 简单说明 AA 的用途?

问答题AA 是哪两个字的缩写? 简单说明 AA 的用途?

STI是什么的缩写?为何需要STI?

问答题STI是什么的缩写?为何需要STI?