多项选择题
A.增长光源波长B.增大分辨率系数C.减小分辨率系数D.缩短光源波长
下列哪个工艺方法应用了等离子体技术()A.RIEB.MOCVDC.溅射D.LPCVD
多项选择题下列哪个工艺方法应用了等离子体技术()
A.RIEB.MOCVDC.溅射D.LPCVD
实际VPE工艺温度多在质量传递控制区,此时外延速率()A.对温度不太敏感B.对温度非常敏感C.源的气相扩散的影...
单项选择题实际VPE工艺温度多在质量传递控制区,此时外延速率()
A.对温度不太敏感B.对温度非常敏感C.源的气相扩散的影响不大D.源气体分压的影响不大
涂胶前的打底膜是为了增强光刻胶与衬底之间的浸润性。
判断题涂胶前的打底膜是为了增强光刻胶与衬底之间的浸润性。