在形位误差的测量中，常利用坐标测量机或其他坐标测量装置，对被测实际要素测出一系列坐标值，再经数据处理，获得形位误差值。这种测量原则称为测量（）原则。

形位误差检测原则之一是“与理想要素比较原则”，其中“理想要素”常用（）的方法获得。

填空题形位误差检测原则之一是“与理想要素比较原则”，其中“理想要素”常用（）的方法获得。

坐标测量机测得被测实际要素一系列坐标值，再经数据处理后，获得尺寸误差和形位误差值。

判断题坐标测量机测得被测实际要素一系列坐标值，再经数据处理后，获得尺寸误差和形位误差值。

坐标测量机使用光栅、磁栅、感应同步器和激光作为检测元件。

判断题坐标测量机使用光栅、磁栅、感应同步器和激光作为检测元件。