问答题

简答题 非平衡磁控溅射与平衡磁控溅射比较,在结构上有差异,在镀膜方面有什么特点?

【参考答案】

非平衡磁控溅射让磁控阴极外磁极磁通大于内磁极,两极磁力线在靶面不完全闭合,部分磁力线可沿靶的边缘延伸到基片区域,从而部分......

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