问答题
在反应溅射时，反应气体会与靶材反应生成化合物，而化合物的溅射率低于原靶材的溅射率。另一方面，化合物的二次电子发射能力强，......
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磁控靶表面的磁场强度是多少？
问答题磁控靶表面的磁场强度是多少？
磁控溅射典型的工艺参数？
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什么是离子束溅射？
问答题什么是离子束溅射？
