离子交换树脂呈球状颗粒，不溶于水，不溶于酸碱和有机溶剂，对一般的（）和（）具有相当程度的化学稳定性，具有一定的机械强度。

通常在硅单晶生产清洗中所用的纯水，25℃时电阻率在（）欧姆•厘米以上，但是此种水仍含有1毫克/升的杂质。

填空题通常在硅单晶生产清洗中所用的纯水，25℃时电阻率在（）欧姆•厘米以上，但是此种水仍含有1毫克/升的杂质。

纯水又叫去离子水，即除去（）、（）和（）等杂质的水。

填空题纯水又叫去离子水，即除去（）、（）和（）等杂质的水。

目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。

填空题目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。