问答题
用等离子体对薄膜线条进行刻蚀的一种新技术。分为等离子体刻蚀、反应离子刻蚀RIE、磁增强反应离子刻蚀、高密度等......
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什么是刻蚀？
问答题什么是刻蚀？
湿法刻蚀有什么缺点？
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什么是湿法刻蚀？
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