问答题
简述其工作原理。淀积速率与蒸发材料温度腔体形状等因素有关。淀积速率通常用石英晶体速率指示仪测量。所用器件为一个谐振板，它......
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物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。
问答题物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。
对RTP来说，很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度...
问答题对RTP来说，很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度上升速度加快后，滑移现象变得更为严重，这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的？
简述RTP在集成电路制造中的常见应用。
问答题简述RTP在集成电路制造中的常见应用。
