名词解释
通过使用光圈将入射光以一定角度入射到光学系统的透镜上，收集光刻板上光栅的一级衍射，提高分辨率。
Opc光学临界校正
名词解释Opc光学临界校正
PSM移相掩膜
名词解释PSM移相掩膜
正光刻胶
名词解释正光刻胶
