名词解释
由两种或两种以上的反应原料气在沉积反应器中相互作用合成得到所需要的无机薄膜或其它材料形式的方法。
氧化还原反应沉积
名词解释氧化还原反应沉积
物理气相沉积
名词解释物理气相沉积
化学气相沉积
名词解释化学气相沉积
