单项选择题

外延生长工艺流程是()。
①硅片清洁处理
②氯化氢气相抛光
③系统的清洁处理
④降温取片
⑤外延生长。

A.①②③④⑤
B.①②③⑤④
C.③①②⑤④
D.③①②④⑤