当某些晶体沿一定方向受外力作用而变形时，在其相应的两个相对表面产生极性相反的电荷，当外力去掉后，又恢复到不带电状态，这种物理现象称为（）。

光栅位移传感器的辨向电路中，用于辨向的两路信号其相位差多取为（）。

填空题光栅位移传感器的辨向电路中，用于辨向的两路信号其相位差多取为（）。

计量光栅传感器中，当指示光栅不动，主光栅左右移动时，查看（）的移动方向，即可确定主光栅的运动方向。

填空题计量光栅传感器中，当指示光栅不动，主光栅左右移动时，查看（）的移动方向，即可确定主光栅的运动方向。

光栅位移传感器无细分时，分辨率为0.02mm，在四细分后，其分辨率为（）。

填空题光栅位移传感器无细分时，分辨率为0.02mm，在四细分后，其分辨率为（）。