DR8500III贴膜机贴膜后晶圆边缘胶膜余量控制在±0.3mm内。

MA2008全自动绷膜贴片机揭膜工作台Table固定真空小于-0.7MPa。

判断题MA2008全自动绷膜贴片机揭膜工作台Table固定真空小于-0.7MPa。

MA2008全自动绷膜贴片机晶圆吸附后对应的真空显示值不高于-0.5MPa。

判断题MA2008全自动绷膜贴片机晶圆吸附后对应的真空显示值不高于-0.5MPa。

200B减薄机料盒装载平台检测开关应伸出台面约10-12mm，放置料盒后应指示灯亮。

判断题200B减薄机料盒装载平台检测开关应伸出台面约10-12mm，放置料盒后应指示灯亮。