问答题
氧化生长速率是用于描述氧化物在硅片上生长的快慢。当氧化剂的量足够时,SiO2生长的快慢最终由氧化剂......
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试给出硅片上的热氧化生长过程的示意图,并说明其中的各物理量的基本含义。
问答题试给出硅片上的热氧化生长过程的示意图,并说明其中的各物理量的基本含义。
是说明什么是迪尔—格罗夫模型?试给出迪尔—格罗夫模型两种极限情况的示意图。并说明其物理意义。
问答题是说明什么是迪尔—格罗夫模型?试给出迪尔—格罗夫模型两种极限情况的示意图。并说明其物理意义。
氧化硅的热动力学生长过程中包括哪几个主要过程?并说明每一种过程中的什么因素对氧化生长速率有影响?其中决定因素是...
问答题氧化硅的热动力学生长过程中包括哪几个主要过程?并说明每一种过程中的什么因素对氧化生长速率有影响?其中决定因素是什么?