ICP发射光谱技术具有灵敏度高、精密度高、基体干扰少、线性范围宽和可以（）同时分析的优点。

原子发射光谱分析过程主要分三步：（）、（）和（）。

填空题原子发射光谱分析过程主要分三步：（）、（）和（）。

等离子体是目前最广泛应用的原子发射光谱光源，主要包括（）、（）和（）。

填空题等离子体是目前最广泛应用的原子发射光谱光源，主要包括（）、（）和（）。

等离子发射光谱通常由化学火焰、电火花、电弧、激光和（）激发而获得。

填空题等离子发射光谱通常由化学火焰、电火花、电弧、激光和（）激发而获得。