问答题
注入束中的中性原子是如何形成的？它有什么害处？如何避免？
问答题注入束中的中性原子是如何形成的？它有什么害处？如何避免？
离子注入掺杂的优点是什么？写出CMOS集成电路制备工艺中用到的离子注入。
问答题离子注入掺杂的优点是什么？写出CMOS集成电路制备工艺中用到的离子注入。
什么是含Cl氧化，含Cl氧化的好处是什么？
问答题什么是含Cl氧化，含Cl氧化的好处是什么？
