名词解释

电子束曝光

【参考答案】

电子束曝光是先利用低功率密度的电子束照射称为电致抗蚀剂的高分子材料，由入射电子和高分子材料相碰撞，使分子链被切断或重新聚......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)

精密加工与特种加工