问答题
如果光刻胶的吸收过多，光刻胶底部接收的光强度就会比顶部的少很多，会导致图形侧墙倾斜。
列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。
问答题列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。
描述曝光波长和图像分辨率的关系。
问答题描述曝光波长和图像分辨率的关系。
陈述软烘的4个原因。
问答题陈述软烘的4个原因。
