名词解释
利用某种物理过程，例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移，即原子或分子由源转移到衬底表面上，并淀积成薄膜。
RTA（RTP）
名词解释RTA（RTP）
退火
名词解释退火
沟道效应
名词解释沟道效应
