问答题
优点:①电阻率更低;②电流密度高:抗电迁徙能力好于铝,铜合金中加入Al或Ti进一步增强抗电迁移;③更少的工艺步骤:采用大......
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简述电迁移现象及解决方法。
问答题简述电迁移现象及解决方法。
简述铝的结穿刺现象及解决方法。
问答题简述铝的结穿刺现象及解决方法。
简述铝互连的优缺点。
问答题简述铝互连的优缺点。