X射线光刻技术与传统光刻技术相比，是通过（）的手段来提高分辨率的。

利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。

判断题利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。

制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。A.浸渍提拉法B.旋覆法C.喷涂法D.等离子体法

多项选择题制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。

磁控溅射与二级溅射相比的特点是（）A.结构简单B.镀膜速率慢C.基片温度低、损伤小D.靶材利用率高

单项选择题磁控溅射与二级溅射相比的特点是（）